産品時(shi)間:2025-12-01
FS4001系(xì)列實驗室氣體(ti)流量傳感器适(shì)用于各類清潔(jié)氣體。*的封裝技(ji)術使之可用于(yu)各類管徑,成本(ben)低、易安裝、不需(xu)要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積(jī)式或壓差式的(de)傳統流量傳感(gǎn)器。
産品簡介:
FS4001系(xì)列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器 是專門爲各(ge)類小流量氣體(tǐ)的測量和過程(cheng)控制而設㊙️計的(de)。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公(gōng)司自主研發的(de)微機電系統( MEMS )流量傳感芯(xīn)片來制作。
FS4001系列(lie)實驗室氣體流(liu)量傳感器 适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑💯,成(cheng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(li)補償,可替代容(róng)積式或壓差式(shì)🍓的傳統流量傳(chuán)感器。
産品特點:
-
傳感器靈敏度(dù)高
,
有極小(xiǎo)的始動流量
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傳感器芯片(pian)采用熱質量流(liú)量計量
,
無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償
,
保證了(le)傳
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感器的(de)高精度計量
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在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuan)感器集成
,
使傳感器的量(liang)程比大大提高(gao)
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傳感器的(de)零點穩定度高(gao)
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全量程高(gao)穩定性
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全(quan)量程高精确度(dù)和優良的重複(fú)性
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低功耗(hào)
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低壓損
-
響應時間快(kuài)
機械尺寸(cùn):
主要(yào)參數:
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精 度(du) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式 |
線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH(無結冰、無凝(níng)露) |
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機械接口 |
可(ke)拆式軟管接頭(tóu) |
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校準方式 |
空氣(qi)(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
15 |
g |
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