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FS4001系列實(shí)驗室氣體流量(liang)傳感器

簡要描述：

詳細介(jiè)紹

FS4001系(xì)列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器 是專門爲各(ge)類小流量氣體(tǐ)的測量和過程(cheng)控制而設㊙️計的(de)。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公(gōng)司自主研發的(de)微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯(xīn)片來制作。

FS4001系列(lie)實驗室氣體流(liu)量傳感器 适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑💯，成(cheng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(li)補償，可替代容(róng)積式或壓差式(shì)🍓的傳統流量傳(chuán)感器。

産品特點：
- 傳感器靈敏度(dù)高 , 有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳感器芯片(pian)采用熱質量流(liú)量計量 , 無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償 , 保證了(le)傳
- 感器的(de)高精度計量
- 在單個芯片(piàn)上實現了多傳(chuan)感器集成 , 使傳感器的量(liang)程比大大提高(gao)
- 傳感器的(de)零點穩定度高(gao)
- 全量程高(gao)穩定性
- 全(quan)量程高精确度(dù)和優良的重複(fú)性
- 低功耗(hào)
- 低壓損
- 響應時間快(kuài)

機械尺寸(cùn)：

主要(yào)參數：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀數
零(ling)點輸出飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結冰、無凝(níng)露）
機械接口	可(ke)拆式軟管接頭(tóu)
校準方式	空氣(qi)（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g

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FS4001系列實(shí)驗室氣體流量(liang)傳感器

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