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氣體檢測/測漏(lòu)流量計
産品時(shí)間：2025-12-01
簡要描述：
氣(qì)體檢測/測漏流(liú)量計傳感器靈(líng)敏度高,有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳(chuan)感器芯片采用(yòng)熱質量流量計(ji)量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了(le)🈲傳
- 感器的高精(jing)度計量
- 在單個(gè)芯片上實現了(le)多傳感器集成(cheng),使傳感器的量(liàng)程比大大提高(gao)
- 傳感器的零點(diǎn)穩定度高 全量(liàng)程高穩定性
氣(qì)體檢測/測漏流(liu)量計
産品簡介(jie)：
FS4001系列小流量氣(qi)體質量流量傳(chuan)感器是專門爲(wei)各類👈小流⭐量氣(qi)體的測量和過(guo)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuán)感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)的微機電系統(tǒng)💯（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shi)之可用于各類(lei)管徑，成本低、易(yì)安裝、不需🈲要溫(wen)度壓力補償，可(ke)替代容積式或(huo)壓🐪差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
氣(qi)體檢測/測漏流(liú)量計産品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度(du)高,有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感器(qi)芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保🔞證💁了傳
- 感(gǎn)器的高精度計(jì)量
- 在單個芯片(pian)上實現了多傳(chuan)感器集成,使傳(chuán)感器的量程比(bi)大大提高
- 傳感(gan)器的零點穩定(ding)度高
- 全量程高(gao)穩定性
- 全量程(cheng)高精确度和優(yōu)良的重複性
- 低(di)功耗
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快
主要(yao)參數：
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性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.8 |
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zui大流(liu)量 |
SLPM |
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量程比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
%/oC |
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響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式 |
線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
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zui大工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
oC |
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存(cun)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
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機械接口 |
可(ke)拆式軟管接頭(tou) |
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校準方式 |
空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量 |
15 |
g |
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