産(chan)品時間：2025-12-01
微(wēi)小氣體流(liú)量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是(shi)廣州迪川(chuan)儀器儀表(biao)🚶有限公司(si)專門爲各(gè)類小流量(liàng)氣體的測(ce)量和過程(cheng)控⁉️制而設(shè)計的。這一(yī)系列傳感(gan)器均采用(yong)本公司✨自(zi)主研發的(de)微機電系(xi)統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來(lai)制作，适用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yòng)于各類🧡管(guǎn)徑，成本低(di)、易安裝、不(bú)需要溫度(dù)壓力👄補償(cháng)，可替代容(róng)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuan)感器。
産品簡介(jie)：
FS4001系列(lie)小流量氣(qì)體質量流(liú)量傳感器(qì)是廣州迪(di)川儀器儀(yí)表🐕有限公(gōng)司專門爲(wei)各類小流(liú)量氣體的(de)測量🐇和過(guo)程控制而(ér)設計的。這(zhe)一系列傳(chuán)感器均采(cai)用本公司(sī)自💋主研發(fā)的微機電(dian)系統（
MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhì)作，适用于(yu)各類清潔(jie)氣體。*的封(feng)裝✉️技術使(shi)之可用于(yú)各類管徑(jing)，成本低、易(yi)安裝、不需(xu)要溫度壓(yā)力補償，可(ke)替代容積(ji)式或壓差(chà)式的傳統(tǒng)流量傳🔱感(gan)器。
産(chǎn)品特點：
微(wei)小氣體流(liu)量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳感器(qi)靈敏度高(gāo)
,有極(ji)小的始動(dong)流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱(rè)質量流量(liang)計量
,無需溫度(dù)壓力補償(chang)
,
- 感器的高(gāo)精度計量(liàng)
- 在單(dan)個芯片上(shang)實現了多(duo)傳感器集(ji)成
,使(shi)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
- 傳感器(qì)的零點穩(wěn)定度高
- 全量程(chéng)高穩定性(xing)
-
- 低功(gōng)耗
- 低(dī)壓損
-
主(zhǔ)要參數：
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FS4001 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數(shu) |
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±30 |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuo)電源 |
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輸出方式(shì) |
RS232/模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大(da)工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無結冰、無(wú)凝露） |
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機械接口(kǒu) |
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15 |
g |
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訂貨詳情(qing)請： 85628522
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