流量測量技(ji)術之 微小(xiao)流量 的測(cè)量     
半導體(ti)制造業、生物工(gong)程、精細化工等(deng)的興起，使流量(liàng)測量向低端延(yan)伸，小流量計流(liú)量的要求在上(shang)世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起來(lai)。何謂小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限，小(xiǎo)流量因應用領(lǐng)域而異是一個(ge)🧑🏽‍🤝‍🧑🏻模糊的概念。管(guan)道小流量測量(liang)體現于管徑小(xiao)和流速低兩個(gè)層次，就流程工(gōng)業而言，習慣上(shàng) DN10 甚至 DN15 以下管徑流量(liang)測量稱之小流(liú)量測量，通常其(qí)流量值🧑🏽‍🤝‍🧑🏻液體爲(wèi)💯 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表滿(mǎn)度流量時的流(liu)速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法
傳統小流量(liàng)測量技術節流(liu)差壓 ( 層流(liú) ) 法、浮子法(fa)和容積法等有(yǒu)了的改進，新測(ce)量技術如超聲(shēng)法、熱法、科裏奧(ao)利法等也有成(chéng)效地應于液體(ti)和氣體小流量(liang)測量。
2 、特點(diǎn)
微小流量(liàng)與一般流量測(ce)量相比較，具有(yǒu)以下特點。
1) 雷諾數低
一般管道流動(dòng)均爲紊流流動(dòng)，流量儀表也是(shì)針對紊流流動(dong)态設計的，而小(xiao)流量儀表因管(guǎn)徑小常處♌于層(céng)流流動 ( 例(lì)如管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊流過渡(dù)區流态流動，小(xiǎo)流量測量受使(shǐ)用中流體黏🧑🏾‍🤝‍🧑🏼度(du)變👄化影響頗大(da)。
2) 要用實際(ji)使用流體校準(zhun)
液體流量(liang)儀表一般用水(shui)校準，氣體用空(kōng)氣校準。若知道(dao)實際測量流體(tǐ)與校準流體間(jiān)某些物性不同(tong)㊙️對示值有規律(lü)✂️變化時，中大管(guan)徑流量儀表常(chang)以适🌐當系數修(xiū)正。但有些小流(liú)量儀🆚表受黏度(dù)等流體物性影(yǐng)響大，須以實際(jì)⭕使用流體校準(zhǔn)。所幸⭐流量小，用(yong)㊙️實際使用流體(ti)校準難度不大(dà)，但在作👄有害性(xing)流體校準時應(ying)注🌈意安全和環(huan)境污染。
3) 要(yao)求測量時防止(zhi)污染流體
若測量潔淨氣(qì)體和純水常不(bú)允許接觸流體(tǐ)的儀表零件材(cai)料析出離子，例(lì)如半導體制備(bèi)中儀表不能用(yong)金屬和玻璃制(zhì)成，隻能用塑料(liao)。流體中也不允(yǔn)許混入活動件(jian)的磨蝕塵粒。流(liú)量儀表流通通(tong)道要盡可能簡(jiǎn)單，不應有🌏潴留(liú) ( 指液體在(zài)體内不正常地(di)聚集停留 ) 部位，防止潴留(liu)介質變質。
4) 氣泡和塵埃附(fu)着的影響
因管徑小黏性(xìng)增加，液體中微(wei)細氣泡易在管(guan)系流動過程中(zhōng)✍️積💞聚變大，使測(cè)量時指示不穩(wen)，度下降。流體中(zhōng)塵埃💰附着測量(liang)元件也要影響(xiǎng)測量值，例如浮(fu)子流量計的浮(fú)子上沉積有肉(ròu)眼覺察🛀不出的(de)附着層也會影(ying)響示值。
5) 流(liu)量儀表品種使(shi)用上受到一定(dìng)限制
在衆(zhōng)多測量原理流(liu)量儀表中，因各(gè)種原因小流量(liang)應用受🏃到一些(xie)限制，當前能應(ying)用于小流量的(de)品種如表格所(suo)示